原标题：北成新控丨哈默纳科Harmonic执行器在半导体CMP设备中的使用
SHA、FHA、RSF系列执行器是日本Harmonic公司的一款谐波减速机和伺服电机一体化的产品。HMA是大中空直驱力矩电机产品。
SHA系列执行器有6种尺度可选，最大输出转矩为3419Nm,减速比规模11~161，单向定位精度≤30arcsec（1:80以上速比）。
FHA-C系列执行器4种尺度可选，最大输出转矩达820Nm，减速比规模50~100，单向定位精度≤30arcsec。
RSF系列执行器4种尺度可选，最大输出转矩达330Nm，减速比规模50~100，单向定位精度≤90arcsec。
HMA系列直驱电机5种尺度可选，最大输出转矩33Nm，最高转速6000rpm，中空直径最大60mm，标配绝对值编码器单圈17位多圈计数16位。
1、 转台：负载220kg，直径1600mm，沟通伺服电机+行星减速机不足以满意装置空间和精度要求，选用了SHA65A产品，减速比为1:161，输出转矩为3419Nm，满意了晶片转台大惯量匹配及快速定位需求，中空结构可放置气管和线缆，扁平机身下降装置空间和设备重心；
2、 磨头：选用了RSF-32A产品，集成高分辨率编码器和1:50减速机，使输出端转速动摇小，运转平稳，进步了研磨精度；
3、 清洗甩干：选用了HMAB12产品，最高输出转速4800rpm，中空法兰输出结构便于晶片汲取，大扭矩高惯量使甩干速度运转平稳。
4、 FHA-40C产品使用于清洗的提拉翻转组织，减速比为1：100，输出转矩为690Nm，小体积高功率密度下降装置空间需求。
Harmonic执行器产品的使用，很好的满意了客户关于进步操控精度，高速定位，紧凑装置空间的需求。
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